Obiekt
Tytuł: Warstwy dielektryczne tlenowęglika krzemu (a-SiOC:H) wytwarzane z prekursorów krzemoorganicznych metodą CVD inicjowaną atomowym wodorem
Wydawca:
Miejsce wydania:
Język:
Identyfikator:
392/Pr ; oai:cybra.lodz.pl:27881
Digitalizacja:
Lokalizacja oryginału:
Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:
- CYBRA Lodz Regional Digital Library > Centre of Molecular and Macromolecular Studies Polish Academy of Sciences
Data ostatniej modyfikacji:
May 7, 2025
Data dodania obiektu:
May 7, 2025
Liczba wyświetleń treści obiektu:
0
Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:
https://www.cybra.lodz.pl/publication/31456
